常用的碳化硅研磨砂有兩種不同的晶體，一種是綠碳化硅，含SiC97%以上，主要用于磨硬質(zhì)含金工具。另一種是黑碳化硅，有金屬光澤，含SiC95%以上，強度比黑碳化硅大，但硬度較高，主要用于磨鑄鐵和非金屬材料。

    磨削硬脆材料時，碳化硅磨料對其有滾動或微切削作用。當(dāng)碳化硅磨粒作用在有不平整和裂紋的外表時，隨著磨削過程，在磨削載荷的作用下，一些磨粒被壓入工件，顯露的刀尖用來刮擦刻工件外表停止微切削。另一局部SiC磨粒在工件和磨盤之間滾動產(chǎn)生滾動作用，使工件外表構(gòu)成微裂紋，裂紋擴展使工件外表構(gòu)成脆性切屑，從而達到外表清潔的目的。

    由于硬脆材料的抗拉強度小于抗壓強度，當(dāng)磨粒加載時，硬脆資料外表的拉應(yīng)力會產(chǎn)生微裂紋。當(dāng)縱橫交織的裂痕延伸并互相穿插時，裂痕所包圍的部位就會斷裂，斷裂成小塊。這是磨削硬脆資料時切屑構(gòu)成和外表構(gòu)成的根本過程。

    碳化硅是一種高硬度脆性資料，需求特殊的磨削液。碳化硅磨削的主要技術(shù)難點在于高硬度材料減薄厚度的準確丈量和控制。磨削后，晶片外表呈現(xiàn)損傷、微裂紋和剩余應(yīng)力。減薄后，碳化硅晶圓會呈現(xiàn)比碳化硅晶片更大的翹曲現(xiàn)象。